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RTP快速退火炉

发布时间:2017-11-16  浏览次数:1023

产品型号:NBD-HR1200-110IT-170
产品说明:NBD HR系列高温快速热处理退火炉简称RTP。 TR 该产品采用成熟的制造工艺,RTP快速退火炉结构新颖合理; 目前,已经通过各种样品实验反复验证。 RTP快速退火炉已广泛应用于半导体器件的开发和生产领域;

该系统主要用于:
1.能满足离子注入后的快速退火; 2.也可用于欧姆接触快速合金; 3.也可用于硅化物合金退火,RTP快速退火炉氧化物生长; 4.以及快速热处理工艺,如铜铟镓硒光伏应用中的硒沉积。 TR 该设备是国家专利保护产品,专利号:CN201310005931.6
RTP(快速热处理炉),RTP快速退火炉在成熟的生产和制造工艺的基础上自主开发了该产品,并拥有发明专利。 RTP快速退火炉该设备不仅具有500°C/S的更快加热速度,而且还完成烧结过程,直接取样在高温区。在物理状态下实现更快的冷却。我们的工程师巧妙地利用冷壁工艺,RTP快速退火炉在绿色节能和环保的基础上实现了样品的快速上升和下降! TR 腔体采用不同的进气结构,内管空气引入,外管无气体。 RTP快速退火炉使反应气氛与处理过的样品充分均匀地接触。温度测量元件直接与样品接触,以确保样品温度的准确性。

TR

RTP快速退火炉主要技术参数

1

项目

主要技术指标

数据

2

规格型号

NBD-HR1200-110IT-170

3

温度控制

最高温度点

1200°C

4

额定温度

1100°C

5

稳定的温度范围

100~1000°C

6

温度测量精度

±0.2°C

7

温度控制可重复性

±1°C

8

温度控制精度

±1°C

9

温度场均匀性

±2°C

10

温度状态处理时间(S)

2至100(100至1000°C)

11

快速加热率

500°C/S

12

冷却速度(°C/S)

1至200(通过氮,更快)

13

温度控制模式

智能模糊全闭环控制

14

软件功能

控制系统

NBD-101智能系统

15

用户界面

中英文交流

16

处理菜单编辑

触摸屏图像操作界面

17

扩展端口

可扩展的真空测量和控制以及FFC气体供应

18

看门狗

当系统进入无限循环时关闭主控制器

19

热电偶校准状态检测

软件校准,方便准确,传感器状态软件分析正常

20

超高温检测

当软件检测到温度信息有高温异常时,主电路被切断

21

TR

触摸屏尺寸

7'LCD

22

物理指标

最大功率

15kw

23

额定电压

AC380~400V,50Hz(60Hz定制)

24

传感器类型

S型单铂坩埚

25

反应室内径

Φ100X200mm

26

风格有效空间

3.5'

27

真空度

4.3×10-3Pa(外部分子泵)

28

泵送端口尺寸

KF16(或Φ8mm宝塔口)

29

供气口尺寸

Φ6.35mm双卡夹

30

冷却方法

自然冷却或强制风冷N2或压缩空气:2psi(0.14kg/cm2) - 7psi(0.5kg/cm2)

31

净形状尺寸(mm)

长度920×深度500×高度560

32

重量

净重65kg